Teknologi dioda pemancar cahaya ultraviolet (UV LED) telah berkembang pesat dari aplikasi awalnya dalam pengeringan menjadi "alat litografi" dan "ahli pengikatan" yang sangat diperlukan di bidang semikonduktor, perakitan optik presisi, dan manufaktur kelas atas. Berkat terobosannya yang revolusioner dalam kepadatan daya, stabilitas panjang gelombang, dan umur panjang, UV LED mempercepat proses industri menuju presisi dan efisiensi yang lebih tinggi.
Dalam fotolitografi, sebuah proses inti dalam manufaktur semikonduktor, UV LED menunjukkan potensi besar, terutama dalam pita UV dalam (Deep UV).
Fotolitografi tradisional mengandalkan lampu merkuri yang besar dan mahal serta masker fisik. Teknologi wafer array tampilan microLED UV dalam terbaru, dengan menyediakan sumber cahaya UV dalam beresolusi tinggi dan sangat efisien, membuka jalan bagi "litografi tanpa masker" berbiaya rendah dan presisi tinggi. Hal ini sangat meningkatkan fleksibilitas paparan pola dan diharapkan dapat secara signifikan mengurangi biaya manufaktur.
Dalam langkah-langkah manufaktur presisi seperti pengemasan canggih dan paparan tepi wafer, sumber cahaya terkonsentrasi UV LED, dengan spektrum pita sempit yang dapat dikontrol, dan keluaran yang stabil, telah menggantikan sumber cahaya pita lebar tradisional. Hal ini memastikan paparan photoresist yang seragam dan presisi, yang merupakan kunci untuk meningkatkan hasil chip.
Sumber cahaya UV LED menawarkan keuntungan signifikan dalam penyelarasan aktif dan pengikatan komponen optik presisi, seperti kamera ponsel pintar, sensor LiDAR, dan lampu depan otomotif:
Penyelarasan aktif memerlukan fiksasi komponen optik yang cepat dan stabil menggunakan perekat yang dapat disembuhkan dengan UV setelah diposisikan secara optimal. Sumber cahaya UV LED menawarkan daya pancar tinggi, memungkinkan pengeringan cepat dan secara efektif mempersingkat waktu siklus produksi. Keluaran panasnya yang rendah (pengeringan dingin) mencegah pergeseran termal komponen yang sejajar selama proses pengeringan, secara signifikan meningkatkan keandalan produk akhir.
Para pemimpin industri seperti Phoseon telah menunjukkan bahwa lampu UV LED kelas industri dapat beroperasi selama lebih dari 60.000 jam dengan keluaran cahaya yang sangat stabil. Keandalan jangka panjang ini sangat penting untuk lini manufaktur kelas atas yang beroperasi.
Teknologi UV LED tidak lagi menjadi produk standar yang seragam. Tren di masa depan adalah menyediakan sistem pengeringan UV LED yang sangat disesuaikan yang disesuaikan dengan substrat yang berbeda (seperti plastik, kaca, dan komposit) dan kecepatan produksi.
Melalui manajemen termal canggih, pembuangan panas yang presisi, dan sistem kontrol cerdas terintegrasi, teknologi UV LED menyediakan dukungan sumber cahaya inti untuk pabrik otomatis dan ramah lingkungan di bawah model "Industri 4.0".
Kontak Person: Mr. Eric Hu
Tel: 0086-13510152819